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  • 國家戰略性新興產業發展專項資金計劃

    “年產1萬個高線代平板顯示器及先進封裝用靶材產業化”項目,列入國家戰略性新興產業發展專項資金計劃。

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  • 國家電子信息產業發展基金項目

    “超大規模集成電路PVD工藝制造用鋁和鉭濺射靶材的產業化”項目,列入國家工信部電子信息產業發展基金項目。 

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  • 十一五國家02科技重大專項

    “300mm極大規模集成電路用Al、Ti、Ta 靶材制造技術研究與開發”項目,列入十一五國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項..

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  • 國家高技術研究發展計劃(863計劃)

    國家高技術研究發展計劃(863計劃)引導項目“超大規模集成電路制造用鋁和鉭濺射靶材產業化關鍵材料技術研究”項目,列入國家高技術研究發展計劃(863計劃)引導項目..

    更多 2020-03-10

  • Hitach SU3500掃描電鏡

    HitachSU3500掃描電鏡主要是利用二次電子信號成像來觀察金屬或非金屬材料的表面形態。該儀器對樣品尺寸及形狀沒有限制,可直接觀察大試樣的原始表面,粗糙表面..

    更多 2020-03-06

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